光电成像原理与技术

morimori0401 Lv2

绪论

  • 时间节点
  • 适用范围:200nm~0.1mm
  • 对人眼视觉进行拓展:时、空、谱;探测灵敏度

光电成像系统构成与分类

构成

  • L(, )->E(, )->i->记录,存储,处理,重现

分类

  1. 辐射波段:紫外,可见光(380nm~760nm),红外,远波红外
    • 全色(全收集,用灰度呈现),彩色(RGB三通道),光谱(几十几百通道),激光
  2. 工作方式:主动,被动
  3. 成像方式:快照式,扫描式
    • 扫描式:挥扫(点探测器),推扫(线探测器)
  4. 光学结构形式:折射,反射,折反射
    • 反射参与的光电成像系统较为高端,一般常用折射作为结构形式
  5. 应用目的
    1. 直视型(像管):人眼视觉观察
    2. 电视型:影像数据记录、存储、处理……
      • 光学成像是光电成像中的部分,光电成像系统还包括信号处理等后续部分。

目标辐射与传输

电磁波辐射度量体系

  • 电磁波(电磁辐射)定义:同向振荡且互相垂直的电场与磁场在空间中以波的形式移动,其传播方向垂直于电场与磁场构成的平面,有效地传递能量与动量。

    • 基本属性参数:振幅、频率(波长)、相位
      • 振幅与能量相关
      • 不同介质中频率不变,波长改变
    • 产生机制:原子与分子的热运动与其他
  • 辐射度量与光度量

    • 辐射度量:能量单位+客观+全范围

      • 最基本单位:W

    • 光度量:发光强弱+主观+可见光

      • 最基本单位:cd

    • 光通量与辐射通量的转换

      • 人眼光谱响应:

      • 在555nm时人眼光谱光视效能最大:

        注意:一般下标某量为真值,括号则为真实值

      • 相对光谱光视效能(视见函数):

辐射体与其辐射特性

朗伯辐射体及其辐射特性

  • 朗伯辐射体:辐亮度不随着出射方向的改变而改变

  • 朗伯体的辐射强度:

    理想情况下,朗伯体表面任一点向空间规定方向单位立体角内发射(或反射)的辐射功率和该方向与表面法线方向的夹角余弦成正比

  • 朗伯体辐射出射度:

    其中:P为向半球空间辐射的辐射功率,ds为朗伯辐射体微面元,L为辐亮度

    • 若辐射源是反射率为ρ的朗伯漫反射体,则

      E为辐照度。

    • 由上两式可推得辐亮度与辐照度的关系:

  • 辐射量传递计算

    1. 点源对微面元的照度:

      当点源在微面元法线上时,有距离平方反比定律

    2. 点源向圆盘发射的辐射功率:

      当圆盘距离点源足够远,即cosα≈1:

    3. 面辐射在微面元上的辐照度:(立体角投影定律

    4. 圆盘辐射面产生的辐照度:

      其中

    5. 成像系统像表面的辐照度:由拉氏不变量推出。实际应用简化为

黑体及其辐射定律

  • 热辐射及其性质

    • 热辐射:物体因温度而辐射能量的现象

    • 辐射能入射到物体表面,一般产生三种作用:吸收、反射、透射

      其中为吸收本领,

      为反射本领,

  • 基尔霍夫定律:热平衡条件下,物体的辐射出射度与吸收本领之比是波长与温度的普适函数

  • 黑体:定义可以完全吸收入射的辐射能的理想物体

    • 自然界中不存在,因此引入辐射发射率或者比辐射率

      • 根据比辐射率不同,分为黑体、灰体、选择体
    • 黑体辐射定律

      1. 普朗克辐射定律

      2. 斯蒂芬—玻尔兹曼定律

        其中

      3. 维恩位移定律

典型辐射源

  • 人工标准黑体辐射源

    1. 腔型黑体辐射源

      人工黑体的辐射出射度:

    2. 面型差分黑体辐射源

      面型黑体源:提供均匀辐射面,半导体控温

      靶标:高导热性材料上镂刻靶标形状,背景为环境温度,靶标为黑体源温度

      靶标支架:方便靶标切换

      红外平行光管:配合面型差分黑体源,进行红外成像系统测试

  • 自然辐射源

    1. 太阳
      • 5800~6000K,0.3到2.5μm波段
      • 到达地面的太阳辐射有衰减,在多个波段有凹陷
      • 到达地面的太阳辐射分布跟太阳高度、大气状态等关系很大
    2. 地球
      • 主要地球辐射 = 反射与折射的太阳辐射(白天,0.3到2.5μm)+自身热辐射(夜间,8到14μm波段)
      • 地球表面热辐射取决于地物温度与辐射发射率,在特定位置有凹陷
    3. 月球
      • 月球表面辐射 = 反射太阳辐射+自身辐射
      • 反射辐射:与太阳辐射相似,无凹陷
      • 自身辐射:类似于400K黑体,峰值波长为7.24μm
    4. 大气辉光与夜天空辐射
      • 大气发出的紫外辐射高层大气分子作用发出的辐射
      • 大气辉光光谱中包含多种原子谱线
      • 辐射强度受到纬度、地磁场分布于太阳运动等影响
  • 人工照明辐射源

    1. 白炽灯
      • 发射连续光谱,在可见光谱段与黑体辐射分布相差不大
    2. 气体放电灯
      • 线光谱或连续光谱
      • 分类:低压(汞灯、镝灯)、高压(汞灯)、超高压(氙灯)
    3. 半导体发光二极管
    4. 激光光源
      • 准直单色光
      • 分类:气体激光器、固体激光器、可调谐激光器、半导体激光器
  • 景物目标源

    • 人工目标、自然景物

辐射在大气中的传输

  • 辐射传输:电磁波辐射由辐射源经过一定过程(自发射、透射、散射等)经过传输介质后,引起的辐射变化过程,为辐射与介质的相互作用

大气成分与大气层结构

  • 大气=气体+气溶胶

  • 气体:常定成分气体、可变成分气体

  • 气溶胶:粒度在0.03μm到2000μm的固态与液态微粒

  • 大气结构(从下到上):

    大气层结构 高度(km) 高度增加后物理量变化 其余说明
    对流层 0~10 p↓,T↓ 空气存在明显对流,天气变化频繁,大量云、烟尘
    平流层 10~50 T↑(臭氧层对紫外线的强吸收) 没有对流,由下往上为同温层、暖层
    中间层 50~85 T↓ 冷层
    热成层 80~500 T↑ 电离层,对遥感波段为透明的,是陆地卫星活动空间
    散逸层 500~800及以上 T↑ 空气极其稀薄,对卫星基本没有影响
    • 一般认为局部区域大气成分只随着高度变化
    • 描述变化:密度、气压、温度、湿度与沿高度方向分布的垂直廓线

大气消光与大气窗口

  • 大气消光:大气对电磁波辐射功率的衰减作用,主要由散射与吸收造成
  1. 大气散射:

    散射系数β来衡量粒子的散射能力。

    电磁波大气分子气溶胶粒子作用,电磁波偏离原来传播方向的现象

    • 大气散射一方面使沿原方向传播的辐射衰减,另一方面增大背景辐射强度,降低目标与背景的对比度,降低信噪比

    • 其性质与强度取决于大气分子或气溶胶粒子的半径被辐射光的波长

    • 分类:

      1. 瑞利散射(选择性散射)

        半径r远小于波长λ的粒子引起的散射。

        • 大气分子对可见光的散射;波长越短,散射能力越强。
        • 不同地区上空大气的瑞利散射能力变化。
      2. 米氏散射(选择性散射)

        设粒子尺度为a,发生米氏散射条件

        当r≈λ时,产生最大散射

        • 具有较强的向前散射能力
      3. 无选择性散射

        散射光强度与波长无关

  2. 大气吸收

    吸收系数α衡量将辐射能量转化成为大气分子的运动形式。主要吸收体:臭氧、水蒸气、二氧化碳。

  3. 大气透过率

    • 消光:由于气体分子与气溶胶粒子的影响,光线在透过大气的同时被吸收与散射,由此引起的电磁波辐射能量的衰减。

      大气透过率为τ,则

      对于均匀光学介质,有

      则有Bouggner定律

      • 适用于水平辐射传输计算,也用于任意路径传输的辐射

      大气消光系数:

  4. 大气窗口:大气透过率较高的波段

  5. 大气辐射计算

    1. 能见距离

光电成像器件及其特性

光电成像器件特性

  • 噪声影响的定量评价

    1. 信噪比(SNR):有用信号/噪声信号

      • 输出端评价探测性能的指标
    2. 噪声等效功率(NEP)

      • 在输入端评价

      • 条件:SNR = 1时,器件的输入功率为多少

        NEP越大,性能越差

      • NEP与面积A与带宽Δf有关,而且

    3. 探测率和比探测率

      • 探测率(D):NEP的倒数
      • 比探测率(D*):对于同类的器件,消除A与Δf对于探测能力对比的影响
  • 图像传递特性

    • 分辨(Resolving Power)

      • 以人眼作为接收器所判定的极限分辨能力:能够被人眼分辨的相邻两点之间的距离Δ,或者这两点对人眼所张的角度δ

      • 距离越小,则分辨力越强,所以取分辨(Resolution),为分辨力的两倍的倒数:分辨率越大,分辨能力越高

        • 单位:lp/mm

        • 为行扫描频率,宽高比是a,n是电视线数(TVL,转化的时候考虑高度H)

      • 在器件的输出端进行考量

    • 点扩散函数(PSF)

      • 空间域定量描述方法
      • 前提:线性、空不变系统
      • 输入δ(x,y)函数分布的图像,通过光电成像器件得到的输出图像分布即为器件的点扩散函数h(u,v;x,y)
    • 光学传递函数(OTF)

      • 点扩散函数的傅里叶变换

      • 为复函数:调制传递函数*

        1. 这里的调制传递函数|M(,)|(二维)体现出能量的分布,与|T(f)|不同

          后来在计算能量时,后者需要平方但前者不用

        2. 整个过程中的MTF为不同的MTF的乘积

        3. MTF的确定:

人眼视觉与图像探测

人眼及其视觉

模型

  • 视细胞:锥状细胞(大,中心凹,高分辨率)、杆状细胞(小,总是合并的,不在中心凹,分辨率较低)
  • 中心凹不在光轴上,中心凹与结点的连线为视轴,视轴与光轴的夹角大概5°
  • 大致建模,测物理参数

视觉特性

  • 视觉响应

    • 人眼观察的视场亮度范围:cd/m^2
    • 分类(随着视场亮度不同):
      • 明视觉响应:锥
      • 暗视觉响应:杆
      • 中间视觉响应
    • 光谱响应:人眼视觉的能动性,在不同的视场亮度范围时响应不一样
  • 视觉适应

    • 适应:在亮度发生突变时,人眼要稳定到突变后的正常视觉状态需要经历一段时间,这种特性称为适应
    • 分类:
      • 亮适应:由暗到亮,2-3min
      • 暗适应:40-60min
  • 视觉阈值

    • 人眼视觉的探测极限

      【很少去考虑人眼视觉的噪声】

    • 分类:

      • 绝对视觉阈值:全黑视场中,人眼完全暗适应情况下,能够感受到的最小光阈值,以入射到瞳孔中的最小照度值表示,大约lx数量级

        • 在暗黑背景亮度下,人眼可以观察到的最小照度值:

          到达一定程度时,其继续变化,人眼是无法察觉的——眩目效应

        • 人眼视觉敏锐程度(目标对比度)与背景亮度与环境在背景中的衬度有关

      • 阈值对比度

        • 背景亮度、对比度、目标张角之间的关系

        • Wald定律

        • Rose定律(需记)

  • 分辨力

    • 视觉锐度:分辨成像于视网膜上的物体形状与位置的能力
    • 视觉分辨力:区分两发光点的最小角距离为极限分辨角θ
    • 视觉分辨力与人眼构造有关:视角、瞳孔直径
  • 调制传递函数MTF

    • 视网膜的MTF
    • 四种典型人眼视觉模型
      1. 高斯型:主要对应光学系统,
      2. 指数型:主要对应探测器
      3. Barten模型
      4. 复合模型

图像探测理论

  • 图像信号S = (均值) - (均值)

  • 图像噪声N =

  • 图像信噪比SNR

  • 假设光电成像系统有一定成像特性与图像参数,可分别算出S、N、SNR

  • 光电成像图像的探测方程(重要):光电成像输出图像的信噪比高于探测要求的阈值信噪比

    方程左侧是表征目标属性的物理参量,右侧是表征光电成像系统属性的物理参量

    • 与Rose定律中定义不一样,C代表图像对比度,α代表目标的尺寸

    取=的时候,可以测出极限探测灵敏阈

    • 斜线下方可探测
    • 如果考虑系统,则位于斜线与红线的下方

目标探测与识别

人眼视觉对于特定目标的探测过程

  • 搜索、探测、分类、识别、辨别

    • 探测识别的效果评估采用捕获概率来表达,捕获概率为前过程的概率相乘
  • 目标探测与识别视觉模型

    1. 美国Rand模型

      P1:搜索一个确定的面积,扫视到目标的概率

      P2:扫视到的目标被探测概率,基于视觉对比度探测

      基于对比度探测的概率密度函数

      表观对比度:C

      极值对比度:

      P3:探测到的目标被识别概率,要求目标有足够多的细节

      η:噪声引起的衰减因子

      信噪比≥1时η不为0,其余为0

  • 成像系统的目标探测与识别——Johnson准则

    • 依据人眼视觉分辨力,建立等效条带图案,采用目标等效条带图案可分辨力来评价成像系统对目标的识别能力

    • 分级:

      探测水平 定义 50%概率时所需的等效条带周期数
      探测(发现) 在视场中发现一个目标 1.0±0.25
      定向 可大致区分目标是否对称及方位 1.4±0.35
      识别 可将目标分类 4.0±0.8
      辨别 可区分出目标型号与其他特征 6.4±1.5

直视型光电成像器件及成像系统

像管结构类型与性能参数

像管概述

  • 像管分类
    • 作用目的:像增强器,变像管
    • 工作方式:连续工作,选通工作,变倍工作
    • 结构形式:近贴式、倒像式、静电聚焦、电磁复合聚焦
    • 技术发展水平:一代、二代、三代

像管结构类型

  • 光阴极(光敏元件)
  • 电子透镜(电子光学系统,电场、磁场)
  • 荧光屏(图像显示)

像增强器(需要补充)

  1. 一代像管

    1. 近贴式像增强器
    2. 倒像式
    3. 电磁复合聚焦式像增强器
  2. 二代像管(与一代像管的差异:电子倍增的方式不一样)

    带有MCP的像增强器

  3. 负电子亲和势光阴极像增强器(三代像增强器)

像管性能参数

  • 光电转换特性:光增益(待补充)

    不特别说明,下标C表示光阴极,下标S表示荧光屏;τ是透过率,U为加在两端的电压,η是荧光屏的发光效率,R是光阴极的光电响应率

    • 提升G:
      1. 提高电压。但是电压太高的话,器件安全性差
      2. 级联。总增益为各部分增益乘积,但器件会变得
  • 时间响应特性

    光阴极:无惰性

    荧光屏发光衰减延迟:有惰性,余辉

    复指数函数:

    其中p为时间常数倒数

  • 噪声特性:背景噪声

    1. 主要类别:散粒噪声(来自载流子的起伏,不可忽略)、热噪声(来自载流子的热运动,可以忽略)、低频噪声(来自半导体材料/复合材料界面的缺陷,可以忽略)
    2. 背景噪声
    3. 来源分析
    • 暗背景噪声(器件自身,下标db):无光照情况下,光阴极的热电子发射和场致发射造成

    • 光致背景噪声(输入信号,下标sb):入射信号产生的杂散光、光反馈、离子反馈等造成

    • 最终噪声:

    1. 影响评价
    • 等效背景亮度:使荧光屏亮度等于暗背景亮度时的光阴极面上的入射照度

      则实际测试时:

    • 对比恶化系数:表征背景使图像对比度下降的程度

      与大气传递函数表示形式相似。

      其中

  • 成像特性:像管输出图像与输入图像之间物理量的关系

    1. 放大率m:像高/物高

      理想成像时,成像放大率处处相同

      对像增强器:

    1. 畸变D:像面不同位置的放大率不同,导致图像发生集合变形

      多级级联管的畸变:

      大多数的成像系统中,是单增的,产生整型畸变(还有桶形畸变)

    2. 分辨力和调制传递函数

      像管分辨率(单位:lp/mm):人眼目视可以分清荧光屏图像中相邻目标的极限分辨能力

      调制传递函数(MTF):

      可以利用其下降到37%(1/e)时f = ,确定的值

      对于未知的器件,可以用MTF()与MTF()联立,来求出与n

像管成像物理过程

光电发射效应

  • 物体受到光照后向外发射电子的现象称为外光电效应/光电发射效应

光电发射基本规律(补充)

  • 阈值波长定律:光电发射的阈值波长取决于光电发射体的光电逸出功。在阈值波长处,光电子逸出的初速度为0

  • 光电发射过程

    1. 光电发射体内的电子被入射光子激发到高能态
    2. 受激电子向表面运动,在运动过程中因碰撞损失部分能量,变成冷电子
    3. 到达表面的受激电子克服表面电子亲和势逸出
  • 电子受激跃迁

    入射光子和体内电子相互作用,看作光辐射电磁场对电子状态的扰动

  • 受激电子向表面迁移

    • 晶格散射
    • 激子散射
    • 受激电子表面迁移概率与光吸收系数与逸出深度正相关(书p145)
  • 电子从表面逸出:取决于光电发射体的能带分布

    • 半导体材料光电逸出功

      • 认为χ决定于表面吸附,有额外能级
      • P型半导体附有N型表面
        • P型半导体的费米能级靠下,N靠上
        • 判断是否稳定:两个材料的费米能级要在一条水平线上
    • 光电发射长波限

    • 热电子:光电发射体内电子接受光子能量

  • 光电阴极:反射式、透射式

    • 半导体材料优于金属材料,基于波段与反射系数的考虑

电子束汇聚成像

  • 电子光学中的场

    • 假定:无源场、静场、真空、旋转对称

    • 电子光学中场需满足的条件:

      举例:

      1. 旋转对称静电场
      2. 旋转对称静磁场
  • 场作用下的电子运动轨迹

    1. 电子在电磁场中的动力学方程

    2. 直角坐标系下,电子运动轨迹方程

    3. 柱坐标系下,电子运动轨迹方程

      【书5-168有问题】

  • 电子光学

    1. 旋转对称静电场

      r()=r(z0)()+r’()()

      其中(z)是轴外单位距离处出射的电子轨迹,(z)是轴上45°出射的电子轨迹

    2. 验证理想成像条件(前提:静电场)(待补充

      1. 轴上电子:无论发射方向如何,最终一定在轴上
      2. 轴外电子:无论发射方向如何,最终都会在成像平面上

      结论:像管光学系统可以理想成像

    3. 电子光学系统的折射率

  • 典型电子光学系统成像特点

    1. 双面近贴系统(平行静电场)
    2. 电磁复合聚焦系统
      1. 光阴极上一点发出的光电子,无论初速度与出射角如何,轴向初速度相同的话,经过时间T后都会汇聚到距离光阴极为d的一点——轴向均匀电磁场具有聚焦特性
      2. 聚焦像差:高斯像点的偏离量
      3. 球差:初动能相同,不同出射角
      4. 位置色差:出射角相同,初动能不同(波长不同)

电子图像发光显示过程

  • 荧光材料受高能电子轰击发光,形成可见光图像
  1. 荧光屏发光机理与特性
    • 晶态磷光体:粉末状晶体在适当掺杂后具有受激发光的特性
    • 能带模型理论:由于正离子的存在,发光中心存在
    • 主要发出可见光
  2. 荧光屏发光时间响应
    • 上升延迟不明显,衰减延迟严重
      • 复指数
      • 双曲线
  3. 典型荧光材料及光谱特性
    • 蓝光波段:与胶片匹配
    • 黄绿光波段:与人眼视觉观察有光谱匹配(相当于光阴极的光谱匹配)

直视光电成像原理和成像系统

  • 限定为微光夜视系统(重点)、红外夜视系统

主动红外夜视成像系统

  • 自身携带红外光源
  • 工作波段:近红外,0.76~1.2μm
    • 因为很多目标在近红外有强烈的反射(比如自然景物)
  • 优点:
    1. 目标与背景反差打,成像清晰
    2. 受大气散射影响小,图像闪烁小
    3. 不受环境照明条件影响,选通工作
    4. 工艺成熟,造价低廉

微光夜视成像系统

  • 优点:
    1. 被动式工作,不用人工照明
    2. 隐蔽性好
    3. 体积小,重量轻
  • 缺点:
    1. 景物之间反差小
    2. 图像数据无法记录,复现困难,无法传输,导致量化分析无法进行

微光夜视成像系统关键技术

  1. 夜视成像系统物镜:收集目标场景辐射成像于像管的光阴极上

    • 大通光口径和相对孔径
    • 小渐晕(大渐晕系数)
      • 轴外的光束被孔径拦截而形成渐晕
    • 宽光谱范围内像差校正
    • 调制传递函数较高
      • 12.5lp/mm时,MTF≥0.75
      • 25lp/mm时,MTF≥0.5
    • 消除杂散光
    • 分类:
      • 透射式物镜(有色差)
        • 双高斯结构
        • 匹兹万结构
      • 反射式物镜(无色差,但有摆放问题)
        • 折反射式物镜
  2. 目镜:放大荧光屏上的目标像,让人眼能进行舒适清晰的观察

    • 焦距
    • 视场
    • 出瞳距离和出瞳直径
  3. 微光夜视成像仪总体设计

    性能影响:

    其中取决于器件,与目标属性无关;受到图像探测理论、目标属性、器件性能影响

    1. 前置成像系统成像探测性能分析
    2. 后置成像系统(荧光屏、目镜+人眼)

    设计思路:

    • 给出照度,可以计算出辐亮度L

    • 注意:给出极限分辨率:在C=1时的情况下测定

    1. 选择像增强器

    2. 根据选定的像增强器的参数去计算光学系统参数

      1. 物镜焦距

        1. 像方不能超出光阴极的大小

        1. 根据目标探测要求,至少占极限分辨率条带图案x个空间
      2. 物镜视场光阑

      3. 物镜通光孔径

        注意:孔径不能小于1:2

      4. 目镜焦距

      5. 确定目镜的视场角2

      6. 目镜的工作距离

        视力调节范围为±SD(近视眼取负,远视眼取正),对应的目镜轴向移动量为

      7. 目镜的出瞳距离

        不小于15mm,

      8. 目镜的出瞳距离

        瞳孔大小

    3. 整体布局设计

      视距估算:估算对于设计计算可以实现的最远观察距离,看看是否满足设计题目要求。如果不满足,则将前面的流程重新进行一遍

      假定在距离d处有高度为H的物体,微光夜视仪的像增强器光阴极的应用分辨率为m(lp/mm),夜视仪设计要求:

      夜视仪的视距计算公式:

    4. 性能校核

电视型光电成像器件

  • 将空间分布的图像信号

  • CCD和CMOS的区别:信号存储转移方面的不同

    • CMOS每个单元上都有控制与读取的电路,但是CCD一个芯片上只有一套电路实现此功能
  • CCD成像器件

    • 半导体成像、光电转换
    • 线阵CCD成像器件

固体成像器件与成像系统

CCD物理基础与工作原理

  • CCD成像器件:光敏元件(光电转换)+CCD器件(将电荷图像扫描成电流/电压的序列图像)
    • CCD:移位寄存器,存储+转移
    • 基于MOS电容器在非稳态下工作的一种器件

MOS结构与特点

  • 三种材料:金属栅电极(M)、氧化物绝缘层(O)、半导体衬底(S)

    • 电极离散,但是O与S层形成一大片

    • 半导体衬底:P型硅衬底、N型硅衬底

    • 栅电极偏压决定MOS结构的状态

      1. 理想、稳态MOS结构特性(

      2. 负偏压状态(

        半导体表面势在表面处向上弯曲,弯曲程度为;表面处的空穴浓度高于体内,呈现表面多子积累

      3. 正偏压状态(

        空间电荷区:耗尽层

        半导体表面势:

        耗尽层厚度:

        耗尽层电荷量:

        层压降:

        MOS结构电容:

  • 半导体物理知识:

  • 存储电荷(非稳态,强反型)

    强反型:表面电子浓度等于体内空穴浓度(

    形成特点:

    • MOS结构栅压(P型硅衬底):

      • 建立初期,半导体处于深耗尽状态,耗尽层厚度与表面势大于稳态,表面形成空的电子势阱,MOS处于非平衡态

      • 表面反型层的建立需要热弛豫时间,可达数秒以上。

        利用电子热激发的时间跨度,实现信号电荷存储。注入的很薄的、用于存储电子的薄层,成为N沟道(P型硅衬底)。

    • 实际上MOS系统外加电压的修正值:…

    强反型条件:

    强反型状态的耗尽层厚度:

    电荷量:(必须记住)

    空间电荷在氧化层上的压降:

    强反型状态阈值电压

  • 转移电荷

    • 条件:

      1. 势阱合并——电极之间的距离要足够小
      2. 时序控制——栅压有一定的匹配关系
    • 电子浓度

    • 空穴浓度

      刚好是电子浓度的倒数。则

      表面电子和空穴浓度:

      体内电子和空穴浓度:

      能带继续下弯,,即,表面电子和空穴浓度相同

      • 此时半导体表面产生反型

      • 弱反型:表面电子浓度等于表面空穴浓度(

        定义,其中

        弱反型条件:

    移位寄存器的电荷转移问题并不是成像器件的电荷扫描问题!

    举例:三相CCD

    • 波形相同,但是相位差120°
    • 时钟脉冲必须严格满足相位时序的要求
    • CCD中的电荷转移必须满足确定方向
  • 概念

    • 寄存器的1位:代表几个MOS结构的组合
    • 每一位中对应的MOS结构的栅极连接在共同的电压线上,称为相线
    • 电荷包从CCD的一位移动到相邻的下一位,时间间隔位T;转移一次,时间间隔位

结构与特性

  • MOS结构电荷存储原理(非稳态强反型MOS结构)
    • 半导体处于深耗尽状态,耗尽层从表面延伸至体内较深处
  1. CCD的结构特点

    1. 单层铝电极结构

      优点:结构简单,制作容易

      缺点:

      • 要求电极间隙较窄(小于1μm),工艺难度较大
      • MOS结构氧化层裸露在外,表面势不稳定,影响转移效率
      • 性能稳定性不好,易受外电场、磁场干扰
    2. 电阻海结构

      优点:封闭式结构,性能稳定

      缺点:

      • 电极用掺杂制成,对掺杂浓度精度有严格要求,工艺难度大
      • 一致性问题
    3. 多晶硅交叠栅结构

      优点:没有间隙,交叠式电极

  2. 电荷转移沟道

    1. 表面沟道(SCCD)

      工艺简单;但容易受到氧化层的污染

    2. 体沟道(埋沟道)(BCCD)

  3. 物理特性

    1. 存储电荷

    2. 电荷负载能力

      作为CCD电荷存储和转移器件满负载电荷容纳量

      考虑相邻势阱制约,三相CCD满负载电荷量(SCCD)

      BCCD:

    3. 工作频率

    4. 电荷转移效率

      电荷转移损失率:一次转移后损失的信号电荷量和转移前信号电荷量之比,记为

      转移效率:作为一次转移,转移后的电荷量和转移前的相比,记为η

      CCD总的转移效率

      电荷转移的驱动力:

      • 自建场:效果最好

      • 扩散场:转移速度慢

      • 边缘场

      • 界面态和陷阱俘获:SCCD的电荷转移损失比BCCD大得多,为了减少SCCD的表面态俘获损失,用一定量的基底电荷填满表面态,称为“胖0”工作模式

    5. 噪声

      • 散粒噪声:与注入信号电荷量的多少相关

      ​ 服从泊松分布律。

      • 转移噪声:表面态俘获、体内陷阱俘获,有积累性与相关性

        转移损失引起的均方根噪声:

        表面态俘获引起的均方根噪声:…

        SCCD转移噪声频谱:…

      • 热噪声:CCD输入、输出结构,等效为RC回路,热噪声

    6. 暗电流

      CCD器件在无信号注入的情况下,由热生载流子形成的电流

      来源:耗尽层内载流子的本征激发与复合;衬底少子向耗尽层扩散;表面态产生——复合

      影响:图像的对比度(信噪比)下降,形成白噪声与固定模式背景;限制了CCD工作时钟频率的下限

      控制暗电流:提高工作频率;降低温度,抑制热激发

    7. 功耗

      保证CCD正常工作,形成势阱,驱动电荷沿沟道转移

成像原理与工作方式

  • CCD成像器件工作流程
  1. 线阵CCD(LCCD、CCLID)

  2. 面阵CCD

    无论有多大,移位寄存器都基本上是个位数

    • 光敏源阵列

    • 暂存区排列

      1. 帧转移CCD(FT-CCD)

        堆栈式转移,因此不采用单相CCD;使用时,在光敏区向暂存区保存时,需要加快门(转移时不希望曝光)

        但是一次性可以加工完成,成本低

      2. 行间转移面阵CCD(LT-CCD)

        因为转移速度快,所以不需要用快门

        价格比较高

电视型光电成像系统及设计

  • Title: 光电成像原理与技术
  • Author: morimori0401
  • Created at: 2024-03-06 18:17:25
  • Updated at: 2024-08-29 14:44:46
  • Link: https://morimori0401.github.io/2024/03/06/光点城乡原理与技术/
  • License: This work is licensed under CC BY-NC-SA 4.0.